ASML作(zuo)為全(quan)球最大(da)的光刻(ke)機制造(zao)商(shang)，一直以(yi)(yi)來都憑借其先進的技術和(he)高質量的產品享(xiang)有盛(sheng)譽。然而，近日消息傳出，俄羅斯正在(zai)研發一種新的工具，可以(yi)(yi)替(ti)代(dai)光刻(ke)機，這對于(yu)ASML來說是(shi)個意外之喜，也意味著光刻(ke)機行業可能(neng)將面臨顛覆性(xing)的變革(ge)。

 光刻(ke)機作為制造(zao)(zao)(zao)芯片不可或缺的(de)(de)工(gong)具，扮演著重要(yao)的(de)(de)角(jiao)色。ASML公司作為全(quan)球最大的(de)(de)光刻(ke)機制造(zao)(zao)(zao)商，其(qi)產品的(de)(de)生產過程涉及到眾(zhong)多的(de)(de)零部(bu)件和供應商，需要(yao)全(quan)球化(hua)的(de)(de)支持(chi)才能(neng)實現量產。然而，光刻(ke)機的(de)(de)制造(zao)(zao)(zao)并(bing)非易事，它包含復雜(za)的(de)(de)光學系統和多個工(gong)藝環節，需要(yao)高精(jing)度的(de)(de)透鏡和光學元(yuan)件，并(bing)且在制造(zao)(zao)(zao)過程中需要(yao)控(kong)制好(hao)各個環節的(de)(de)工(gong)藝和質量參數。

 在面對國際制裁的(de)情況下，俄羅斯決定(ding)東山再(zai)起(qi)，自(zi)(zi)主研發光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)。據消息透(tou)露，圣彼得(de)堡理(li)工大(da)學的(de)研究(jiu)人員已經取得(de)了重(zhong)要(yao)的(de)突(tu)破，成功開(kai)發出了可(ke)替(ti)代傳統光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)的(de)國產光(guang)(guang)刻(ke)復合(he)體(ti)。這一技術突(tu)破擺脫了傳統光(guang)(guang)刻(ke)工藝對于掩(yan)膜版的(de)依賴，通過軟件控制實現自(zi)(zi)動化的(de)圖(tu)像轉(zhuan)移，大(da)幅降低(di)了時間和(he)費(fei)用成本。雖然俄羅斯目前還沒有實現成品的(de)生產制造(zao)，但(dan)這一理(li)念的(de)開(kai)創將為俄羅斯光(guang)(guang)刻(ke)機(ji)產業的(de)崛起(qi)奠定(ding)基礎。

 據(ju)開(kai)發人員(yuan)稱，傳(chuan)統光(guang)刻技術需(xu)要使用(yong)專(zhuan)門的掩(yan)膜板來獲取(qu)圖像。該裝(zhuang)置由專(zhuan)業軟件控制，可(ke)(ke)實現(xian)完全自動(dong)化，隨后的另外一臺設備(bei)可(ke)(ke)直接用(yong)于形成納米(mi)結構，但也可(ke)(ke)以制作硅膜，例如用(yong)于艦載超壓傳(chuan)感(gan)器。

 在(zai)這之前，俄(e)羅斯(si)科(ke)學(xue)院(yuan)(yuan)下諾(nuo)夫哥(ge)羅德應用(yong)物(wu)(wu)理研(yan)究(jiu)(jiu)所(suo)就宣(xuan)布(bu)開始朝這個方(fang)向展開工作，所(suo)以有上述(shu)成功產(chan)生(sheng)并不意外。俄(e)羅斯(si)大(da)諾(nuo)夫哥(ge)羅德策(ce)略發展機構發豪(hao)語，宣(xuan)稱(cheng)俄(e)羅斯(si)科(ke)學(xue)院(yuan)(yuan)旗下應用(yong)物(wu)(wu)理研(yan)究(jiu)(jiu)所(suo)將(jiang)會跌破所(suo)有人(ren)眼鏡，在(zai)2028年開發出可以生(sheng)產(chan)7納(na)米芯(xin)片的(de)光刻機，還可擊敗ASML同類產(chan)品。